目前國際針對工業有機廢氣的處理方法大概有下面幾種：物理法、化學法、生物法，包括吸附、直接燃燒、催化燃燒、化學氧化、生物濾池等處理手段。目前國内針對有機廢氣的處理工藝主要有：隔離、燃燒、吸收、凝結、等離子體低溫催化氧化、吸附等工藝。

       1、廢氣處理隔離法

通過專用過濾材料，排放廢氣排放過程，通過機械隔離，通過機械隔離，從而達到廢氣處理的效果。

       2、廢氣處理燃燒法

通過對有機廢氣的高溫加熱直接燃燒，實現了廢氣的淨化。

      3、廢氣處理吸收法

吸附液與尾氣相互接觸，将尾氣中的有害物質溶解于吸附液，淨化尾氣。吸收液另行處理。

     4、廢氣處理冷凝法

在溫度低于有害物質凝結點的情況下，通過冷凝冷卻，有害物質轉化爲液體，與空氣分離，達到淨化的目的。

     5、等離低溫催化氧化法

等離子體是固體、液體、氣體以外的物質存在的第四種狀态。它是電中性的，宏觀上具有高導電性。等離子體中含有大量活化電子，離子，激發态粒子和光子。這是由于這些活性粒子和氣體分子相互碰撞所造成的，産生了大量的強氧化性自由基O,OH,HO2和極強氧化性O3;有機物分子受到高能電子的沖擊，被激發并形成原子健斷裂，從而形成小的碎屑基團或原子;O,OH,HO2,O3與激發原子，有機物分子，基團，自由基等反應，.終将有機物分子氧化降解爲CO,CO2和HO2。

    6、活性炭吸附裝置吸附法

以多孔活性炭、矽浴土、無煙煤爲原料，采用大表面剩餘能的分子級吸附技術，對有機氣體分子進行吸附淨化。現有的尾氣處理控制技術需要從處理效果、工程投資、運行費用、自控程度、占地面積及有無二次污染等方面對技術裝備進行評價。

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