利用微生物的新陳代謝過程，生物分解各種有機物和無機物，可以有效去除工業廢氣中的污染物，即處理有機廢氣的生物方法。

首先，用微生物處理廢氣的構想是Bach，1923年用土壤過濾器處理污水處理廠發出的含有H2S的惡臭氣體。在德國和荷蘭的許多地區，該技術已大規模成功應用于氣味、揮發性有機化合物和空氣中的有毒排放，許多常見空氣污染物的控制效率已達90%以上。

該系統由氣體輸送裝置、淋浴裝置、裝置和過濾塔主體三部分組成。揮發性有機化合物通過加壓預濕與過濾塔内填充層表面的生物膜接觸，揮發性有機化合物從氣相轉移到生物膜，被微生物分解利用，轉化爲二氧化碳、水和其他分子物質，排出淨化後的氣體。淋浴裝置定期向填充層噴灑淋浴液，調節填充層的含水量、酸堿度和營養鹽含量。填充劑:生物滴濾器中，生物膜生長在填充劑表面，氣體有機物流通在填充劑之間的間隙。填充劑比表面積的大小在一定程度上反映了微生物的數量，間隙率影響氣體和液體的流速，填充層的高度對有機物是否有處理意義。

營養成分:生物滴濾塔中的營養成分、微量元素和緩沖液均勻噴灑在填料上，提供生物膜中生物菌群生長繁殖所需的營養成分。揮發性有機化合物的去除率在一定程度上受到營養流量、氮磷含量等因素的影響。吸氣量:生物滴濾器運轉中，氣體流量、入口氣體濃度等因素對氣體本身的去除效率有顯着影響。

等離子污染物控制技術利用氣體放電産生高反應活性顆粒，與各種有機無機污染物反應，将污染物分解成小分子化合物或氧化成易于處理的化合物。它的大特點是能有效、方便地破壞和分解各種污染物，設備簡單，占用空間小，适用于各種工作環境。

電暈放電是處理揮發性有機化合物的主要方法，其主要分解機制如下：加的電場中，電極空間中的電子獲得能量，開始加速。移動過程中的電子與氣體分子碰撞，使氣體分子發生、電離或吸附成爲負離子。電極電壓的選擇和控制是分解過程中的主要内容，會影響放電介質的放電和電子的攜帶能力，以及随後的一系列反應，從而影響分解效率;同時，電極電壓也是商業應用的重要參數。因此，電極電壓的選擇尤爲重要。

除了與電極電壓密切相關外，低溫等離子體降解VOCs還受到反應器結構、反應背景氣氛、VOCs廢氣中含水量、放電頻率、放電電壓、VOCs化學結構、催化劑種類、低溫等離子體放電形式、反應溫度、VOCs初始濃度等因素的影響，其中以氣體濃度、氣流等因素爲主要因素。光催化劑和光催化劑氧化法是目前研究較多的先進氧化技術。光催化劑是在光的作用下發生的化學反應。吸收特定波長的電磁輻射後，分子達到刺激狀态，産生化學反應，産生新物質，或者成爲熱反應的刺激劑。

研究表明，反應物的初始濃度對光催化效率或分解速率有明顯影響。光催化效率随初始濃度的增加而變化，具有明顯濃度變化點的低濃度目标物的光催化分解效率大于高濃度目标物的光催化分解效率。濕度對光催化反應的影響不一緻。化合物和濃度等實驗條件大不相同。